阿斯麦为何能超越尼康和佳能？

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文/久保田龙之介

“日本那时候垄断了半导体光刻机市场，为什么会输给阿斯麦呢？”以前，日本某中央机关的行政官员这样问过笔者。过去尼康占据市场份额首位，佳能紧随其后，但现在荷兰阿斯麦控股以压倒性优势占据首位。

记者当时未能很好地说明原因。但在每天采访半导体行业的过程中，我逐渐感受到生态系统的差异很大。

最近，有幸阅读了以荷兰阿斯麦的视角来描述这一问题的书籍。书名为《FOCUS阿斯麦的风格 引领半导体市场的创新者阿斯麦的创新哲学》（化学工业日报社）（编者注：中文版名为《芯片制造：光刻巨头ASML传奇之路》）。

这是荷兰全国性报纸NRC的金融记者兼专栏作家马克·海金克对成立之初的阿斯麦进行追踪调查的内容。原书于2024年发售，日本于2026年1月发售日语的增补修订版。

阿斯麦现在是在总市值上进入欧洲顶级阵营的巨大企业。是全球最大的半导体制造设备企业，独家生产制造尖端半导体所必需的EUV（极紫外线）光刻机。在日本，2024年12月，Rapidus（东京千代田区）在北海道千岁市的工厂引进了日本首台支持量产的EUV光刻机。当时新闻中频繁出现的公司名称就是阿斯麦。

回溯到1990年代，在半导体光刻机领域，尼康和佳能是两强，1984年成立的阿斯麦是新来者。2001年设立日本法人的时候“也被认为名不见经传”（阿斯麦相关人士）。

情况发生变化是在2000年代前半期。凭借浸润式光刻机这一新型光刻机的开发，阿斯麦超越了尼康和佳能。尼康和佳能放弃的极紫外线(EUV)光刻机的实用化也在2010年代后半期取得成功，阿斯麦的垄断变得难以动摇。

据称在技术上，并行处理2枚半导体晶圆的测量和光刻、提高生产效率的“TWINSCAN”方式的开发取得成功，做出巨大贡献。

但是，当你继续阅读《芯片制造：光刻巨头ASML传奇之路》时，会发现成功的最大原因可能是生态系统的强大。也就是与零件和原材料制造商、研究机构的水平分工的优势。

阿斯麦为何能超越尼康和佳能？

从飞机制造商获得灵感的水平分工

尼康和佳能自主开发和制造光学镜头等，光刻机的大部分生产都是自己完成的。另一方面，阿斯麦的大部分零部件都是从外部采购的。

海金克表示，这种方法是阿斯麦从飞机行业学来的。光刻机和飞机都是集先进技术于一身的精密产品。以飞机为例，制造商从外部采购大部分零部件。

阿斯麦则非常重视与镜片巨头德国Carl Zeiss（卡尔蔡司）的合作。阿斯麦成立之初就从Carl Zeiss采购光刻机用镜头，推进了联合开发。面向浸润式光刻机联合开发了弯曲较少的镜头，面向EUV光刻机开发了以表面粗糙度在50pm（皮米）以下精度打磨的镜头，为实用化做出贡献。与阿斯麦同年成立的世界级半导体研究机构比利时imec也一直保持合作关系。

阿斯麦为何能超越尼康和佳能？

对多家企业的收购也推动了EUV光刻机的实用化。2001年收购了光刻机制造商美国SVG (Silicon Valley Group)， 2013年收购了光刻用光源巨头美国Cymer。SVG拥有实用化之前的EUV光刻机的相关许可。海金克认为，从阿斯麦收购SVG的那一刻起，尼康在EUV市场上的胜算就几乎没有了。

政治背景也起了很大作用。在EUV光刻机的开发过程中，美国政府支持阿斯麦。曾有意加入美国英特尔主导的EUV光刻技术联盟的佳能和尼康因美国政府的意向而被排除在外。

其背后是持续到1990年代的日美贸易摩擦。对于半导体市场份额被日本超越的美国来说，日本企业在光刻机领域的市场垄断是难以容忍的。

在荷兰看到的生态系统的强大

笔者于2025年春访问了位于荷兰南部费尔德霍芬的阿斯麦总部。在总部附近的产业集聚区“埃因霍温高科技园”，可以窥见阿斯麦生态系统的强大。

该园区聚集了阿斯麦、imec以及孕育阿斯麦的荷兰飞利浦（Phillips）等相关企业。约300家公司在这里设有基地，其中初创公司众多，令人印象深刻。

随着人工智能（AI）时代的到来，半导体技术变得越来越复杂。阿斯麦巧妙地将半导体代工企业所象征的半导体行业的水平分工模式带入光刻机，成为顶级供应商。阿斯麦负责人介绍，仅EUV光刻就有近5000家相关企业。

“什么都想自己做是（日本半导体）失败的原因”，笔者联想到的是，采访Rapidus社长小池淳义时听到的回答。瞄准尖端半导体代工的Rapidus重视水平分工，将与美国IBM和imec等密切合作。

即使是国际合作，能否像阿斯麦一样掌握主导权、形成稳固的生态系统也很重要。日本企业从阿斯麦的商业模式中学到的东西应该很多。

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